A rugosidade e o ângulo das paredes laterais da camada núcleo do guia de ondas de óxido de silício são uma das principais causas de perda óptica no dispositivo. Para medir com precisão o ângulo das paredes laterais da camada núcleo do guia de ondas de óxido de silício após a deposição do revestimento, foi estudado um método que utiliza um microscópio óptico de imagem para medir o ângulo lateral do guia, analisando detalhadamente a relação entre a ampliação da objetiva do microscópio e as características da imagem que causam erro de medição. Com base na análise teórica, os valores medidos do ângulo das paredes laterais do guia foram corrigidos, e os resultados experimentais obtidos coincidiram com os resultados da medição por laser confocal. Utilizando esse método, foram medidas as paredes laterais da camada núcleo de 10 conjuntos de guias com revestimento depositado e comparadas com os resultados da medição por laser confocal sem revestimento, concluindo que a precisão da medição está dentro de ±1°. Esse método fornece uma solução precisa e viável para a medição do ângulo das paredes laterais da camada núcleo dos dispositivos de guia de ondas de óxido de silício após a deposição do revestimento.

medição óptica;guia de ondas de óxido de silício;microscópio óptico de imagem;camada núcleo após deposição;ângulo das paredes laterais