Para realizar a medição de interferência de múltiplas superfícies, foi proposto um algoritmo iterativo de deslocamento de fase baseado no princípio dos mínimos quadrados. Ao incorporar o sinal de reflexão secundária na equação de resolução de mínimos quadrados, a precisão da medição de interferência foi ainda mais aprimorada. De acordo com o princípio dos mínimos quadrados, o valor teórico é relacionado com a informação real de interferência para construir a equação dos mínimos quadrados, que é dividida em duas partes: cálculo iterativo da fase inicial e iteração do valor do deslocamento de fase entre cada dois quadros. Através dos resultados iterativos de 21 quadros de interferência, obtém-se uma distribuição de fase inicial mais precisa. Os resultados da simulação mostram que a precisão da solução sem considerar o sinal de reflexão secundária é de 10 nm, e ao incluir este sinal no cálculo, a precisão pode ser aumentada para 0,3 nm. Os resultados experimentais com dados medidos indicam que este algoritmo pode calcular uma distribuição de fase bastante precisa, sem interferências de ruído ou resíduos de sinais harmônicos, possibilitando a medição de alta precisão de lentes transparentes de múltiplas superfícies.

medição de interferência; multi-superfície; algoritmo de deslocamento de fase; sinal de reflexão secundária; iteração dos mínimos quadrados