Para melhorar as desvantagens dos processos anteriores de fabricação de micro-lentes padronizadas, como a complexidade do processo, o alto custo de fabricação e as limitações no design dos padrões, este artigo aplica a tecnologia de polimerização por dois fótons a laser femtosegundo para o processamento rápido e de alta precisão de micro-lentes padronizadas. Diferentes padrões de micro-lentes foram projetados através da deformação do fator de onda esférica. Usando a tecnologia de polimerização por dois fótons a laser femtosegundo, micro-lentes padronizadas foram fabricadas em amostras de fotossensível, que foram então colocadas em um revelador para remover as partes não polimerizadas, obtendo-se assim as micro-lentes padronizadas. Por fim, foram realizados testes de imagem e análise de uniformidade da intensidade luminosa nas micro-lentes padronizadas. Uma fonte de luz LED foi colocada sob diferentes micro-lentes padronizadas, e a luz que passou por elas focou com sucesso em padrões de pontos focais com intensidade luminosa uniforme. Os resultados experimentais mostram que o uso da tecnologia de polimerização por dois fótons a laser femtosegundo permite processar estruturas 3D padronizadas de micro-lentes de forma flexível e controlável, utilizando potência de processamento de 7 mW, tempo de exposição de 2 ms, passo de varredura xy de 0,5 μm e passo z de 0,8~1,5 μm. Isso não apenas garante uma superfície lisa para as micro-lentes, mas também realiza um processamento rápido. Esta tecnologia tem amplas perspectivas de aplicação na fabricação de metamateriais ópticos, microdispositivos ópticos e dispositivos ópticos integrados.

processamento a laser;laser femtosegundo;polimerização por dois fótons;micro-lentes;fotossensível