Impressão precisa por escrita direta por eletrofiação para codificadores de grade

ZHENG Gao-feng ,  

JIANG Jia-xin ,  

KANG Guo-yi ,  

ZHANG Kai ,  

ZHENG Jian-yi ,  

摘要

Melhorar a estabilidade do jato para alcançar impressão precisa de micropadrões e fabricação integrada de microdispositivos é o foco principal da pesquisa na aplicação da tecnologia de escrita direta por eletrofiação. A introdução de um controlador fuzzy para construir um sistema de controle em malha fechada supera as limitações dos múltiplos parâmetros de interferência do jato carregado e a falta de modelo de controle, estudando o comportamento do jato, corrente de fiação e evolução das dimensões da microestrutura impressa; foram impressos dois tipos de codificadores de grade, linear e anelar, que podem ser aplicados respectivamente à detecção de velocidade linear e angular, foi construído um sistema de detecção por sensor de velocidade para testar ambos os codificadores. Os resultados experimentais mostram que o sistema de malha fechada pode melhorar efetivamente a estabilidade do jato e a uniformidade da estrutura impressa, o intervalo de distribuição da largura da linha das micro/nanoestruturas de escrita direta reduziu de 40~140 µm para 50~100 µm; foram analisados os resultados dos testes do sistema de detecção de velocidade, a faixa de medição do codificador de grade linear para velocidade linear é de 0~100 mm/s com erro inferior a 0,87%, e a faixa de medição do codificador de grade anelar para velocidade angular é de 0~100 (°)/s com erro inferior a 0,74%. O controle fuzzy em malha fechada aumentou significativamente a estabilidade da tecnologia de escrita direta por eletrofiação e a precisão da fabricação de microdispositivos, contribuindo para promover a aplicação industrial da tecnologia de impressão micro/nano.

关键词

escrita direta por eletrofiação;controle fuzzy;micropadrões ordenados;codificador de grade;detecção de velocidade

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