Para resolver o problema de contaminação e danos de lentes de grande diâmetro em componentes ópticos terminais e realizar a limpeza online da superfície da lente, foi proposta uma nova forma de remoção de contaminantes utilizando a tecnologia de lâmina de ar para remoção online de partículas contaminantes. O processo de varredura das partículas contaminantes na superfície da lente foi simulado pelo método dos elementos finitos, e foi estudada a distribuição do campo de fluxo e as trajetórias do movimento das partículas no módulo da lente sob a ação conjunta do fluxo laminar e da lâmina de ar. Os resultados indicam que, quando a velocidade do fluxo laminar é de 0,3 m/s, pode-se formar um campo de fluxo estável no interior do módulo da lente; quando a distância da lâmina de ar à superfície superior da lente é de 78,73 mm, pode-se reduzir efetivamente a concentração de tensões do fluxo de ar na superfície da lente; quando a velocidade do ar da lâmina é de 30 m/s, o fluxo de ar pode isolar efetivamente partículas de dióxido de silício com velocidade de saída inferior a 50 m/s e diâmetro inferior a 75 μm. Foram verificadas experimentalmente as características da posição de instalação da lâmina de ar na superfície da lente e a distribuição da velocidade do fluxo de ar na superfície da lente, sendo mais difícil remover partículas contaminantes ejetadas de componentes mecânicos do que de elementos ópticos. Por fim, foram obtidos parâmetros técnicos eficazes para a varredura e isolamento de partículas contaminantes na superfície da lente pela lâmina de ar, fornecendo um novo método para remoção online de partículas contaminantes em módulos de lentes de grande diâmetro.

Fusão por confinamento a laser; lentes de grande diâmetro; lâmina de ar; partículas contaminantes; simulação do campo de fluxo