Danos subsuperficiais em vidro de quartzo são inevitáveis durante o processo de polimento, e a detecção desses danos subsuperficiais tem sido um foco na otimização do processo de fabricação do vidro de quartzo. Este artigo combina o método de espalhamento de laser polarizado e o método confocal de espalhamento a laser, propondo um método de detecção não destrutiva baseado na microscopia confocal de laser polarizado para danos subsuperficiais em vidro de quartzo durante o polimento, e constrói um sistema de detecção não destrutivo. Foram detectados danos subsuperficiais em vidro de quartzo polido com diferentes fluidos de polimento diamantados, e os resultados da detecção para o mesmo lote de vidro de quartzo foram verificados pelo método destrutivo de microscopia de seções transversais. Ao comparar os resultados de detecção não destrutiva e destrutiva, o erro relativo na profundidade do dano subsuperficial foi inferior a 5%, e a configuração das fissuras subsuperficiais foi basicamente consistente. Os resultados mostram que o método de detecção não destrutiva por microscopia confocal de laser polarizado pode realizar a detecção quantitativa e não destrutiva de danos subsuperficiais no polimento do vidro de quartzo. Este estudo pode fornecer um meio eficaz de detecção para a otimização subsequente do processo de fabricação do vidro de quartzo.

danos subsuperficiais; espalhamento de laser polarizado; imageamento confocal; microscopia de seções transversais; vidro de quartzo