A tecnologia de polimento planetário pode aumentar efetivamente a eficiência de remoção de material ao elevar a velocidade relativa no ponto de contato durante o polimento. Porém, devido ao desgaste desigual dos discos de polimento tradicionais, a forma do disco muda constantemente, afetando a estabilidade e precisão da função de remoção durante o processo, limitando a aplicação dessa tecnologia. Este artigo aborda o movimento planetário baseado em cabeças de polimento pequenas, estabelecendo uma função de desgaste e pré-ajustando o raio de curvatura do disco de polimento para garantir que a quantidade removida seja igual em todos os pontos após um ciclo de processamento, melhorando assim a estabilidade da função de remoção. A verificação experimental mostrou que a função de remoção está de acordo com os resultados da simulação do modelo, confirmando sua precisão, e que o disco otimizado proporciona uma função de remoção eficiente e estável. Utilizando um disco de polimento SiC com diâmetro de 40 mm para polir peças de SiC, os resultados experimentais indicaram que a variação da forma da superfície foi inferior a 1% ao comparar o desgaste do disco antes e depois do processamento, atendendo aos requisitos de remoção uniforme; o erro na taxa volumétrica de remoção foi menor que 2,3% em diferentes estágios de polimento, satisfazendo os requisitos de estabilidade da função de remoção no polimento óptico; sob condições de revolução de 100 r·min⁻¹ e rotação de -100 r·min⁻¹, a taxa volumétrica de remoção alcançou 6,879 mm³·min⁻¹, um aumento de 40,9% na quantidade removida em comparação com o polimento por rotação plana com os mesmos parâmetros. Comprova-se que a tecnologia de polimento planetário pode obter uma função de remoção eficiente e altamente estável por meio do design dos parâmetros, oferecendo orientação teórica confiável para a aplicação em processamento eficiente de lentes de SiC.

Processamento óptico; polimento por movimento planetário; modelo de desgaste do disco de polimento; estabilidade da função de remoção