O vidro de quartzo inevitavelmente sofre danos subsuperficiais durante o processo de polimento, e a detecção desses danos subsuperficiais tem sido um tópico importante na otimização do processo de fabricação do vidro de quartzo. Este artigo combina o método de espalhamento laser polarizado e o método de espalhamento laser confocal, propondo um método de detecção não destrutiva para danos subsuperficiais em vidro de quartzo polido baseado na co-focalização laser polarizada. Um sistema de detecção não destrutiva foi construído para avaliar danos subsuperficiais em vidro de quartzo polido com diferentes líquidos de polimento diamantados, e os resultados foram validados através do método destrutivo de microscopia de corte transversal no mesmo lote de vidro de quartzo. A comparação entre os resultados de detecção não destrutiva e destrutiva mostrou um erro relativo na profundidade dos danos subsuperficiais inferior a 5%, e a configuração das fissuras subsuperficiais foi basicamente consistente. Os resultados indicam que o método de detecção não destrutiva por co-focalização laser polarizada pode realizar a detecção quantitativa e não destrutiva dos danos subsuperficiais em vidro de quartzo polido, fornecendo um meio eficaz para a posterior otimização do processo de fabricação do vidro de quartzo.

imagem confocal;danos subsuperficiais;espalhamento laser polarizado;microscopia de corte transversal;vidro de quartzo