O micromirror de grade de varredura eletromagnética é um componente espectral central da nova geração para microespectrômetros. Microespectrômetros baseados em grades fixas que utilizam detectores em matriz na faixa do infravermelho próximo são caros, o que restringe seriamente a aplicação da tecnologia de análise espectral no infravermelho próximo. Este artigo propõe um micromirror de grade de varredura eletromagnética, fabricado por processos micro/nano, que integra a grade, a estrutura de acionamento e o sensor angular em um único dispositivo, possibilitando substituir detectores em matriz por um detector único. Um modelo teórico do micromirror de grade de varredura eletromagnética foi estabelecido, analisando os efeitos dos principais parâmetros estruturais, como dimensões da viga e do espelho, nos indicadores de desempenho do dispositivo, obtendo os parâmetros de projeto. O chip do micromirror de grade de varredura eletromagnética foi fabricado por métodos de micro/nanofabricação e os indicadores de desempenho foram testados. Os resultados experimentais e teóricos mostram que, ao ângulo de varredura de ±7°, o espectro alcança 800~2500 nm, a eficiência de difração perto do comprimento de onda de brilho é ≥70%, e a precisão de controle do sensor angular é ≤0,05°, fornecendo uma solução eficaz para aplicação em microespectrômetros no infravermelho próximo.

dispositivos micro/nano;micromirror de grade de varredura;eletromagnético;sensor angular;infravermelho próximo