Diante do problema da fácil danificação de micro peças frágeis em montagem por interferência, foi escolhido como objeto de estudo a montagem do componente-chave da micro-alvo na pesquisa de Fusão por Confinamento Inercial a Laser (Inertial Confinement Fusion, ICF) — o componente do pacote termomecânico (Thermomechanical Package, TMP) — para investigar métodos de montagem por interferência de micro peças frágeis. Primeiramente, devido ao espaço restrito de montagem e à presença de obstruções visuais que dificultam a detecção de deformação do braço de silício durante a montagem, foi proposto um método de detecção de deformação baseado em variação de escala de cinza, e foi estabelecido o modelo de escala de cinza-deformação para a pequena garra; em seguida, devido à influência da precisão da inspeção visual microscópica, que dificulta a detecção de pequenos desvios de posição entre o braço de silício e a manga, baseado na análise da deformação do braço de silício sob esforço, foi proposta uma metodologia qualitativa para julgar o desvio de posição entre o braço de silício e a manga, realizando a detecção dos pequenos desvios de posição; por fim, com base na variação de escala de cinza da peça e na análise geométrica, foi proposto um método para cálculo quantitativo do desvio de posição durante o processo de montagem micro e uma estratégia de controle de montagem por interferência foi projetada. Os resultados experimentais demonstraram a eficácia do método proposto, alcançando a montagem sem danos do componente TMP com interferência de 20~26 μm. Este método é aplicável para montagem por interferência de eixos micro na fabricação de sistemas microeletromecânicos.

micro peças frágeis; controle de deformação; montagem por interferência; micro montagem