Projeto da estrutura do espelho rápido biaxial para plataforma optoeletrônica aérea

TAN Songnian ,  

WANG Fuchao ,  

XU Yongsen ,  

WANG Yefei ,  

LI Quanchao ,  

摘要

Para atender às altas exigências da plataforma optoeletrônica aérea em relação à precisão da forma da superfície e ao desempenho dinâmico do espelho de reflexão rápida biaxial nas bandas visível/infravermelho, foram projetados especificamente um espelho plano leve e uma estrutura flexível. O método de design da estrutura do espelho rápido foi resumido, os elementos de design foram esclarecidos e o impacto dos erros de montagem foi analisado. Um espelho leve com suporte central traseiro foi projetado, sendo possível a montagem de alta precisão do motor por meio de uma ferramenta de posicionamento. Com base em um rolamento flexível em forma de cruz, foi implementado o design de uma estrutura flexível biaxial. Por fim, foram realizadas simulações e testes experimentais da precisão da forma e dos modos do espelho rápido. Os resultados experimentais mostraram que a precisão da forma do espelho plano (RMS) é melhor que 0,017λ (λ=632,8 nm), a largura de banda em malha fechada do espelho rápido é melhor que 200 Hz e os erros de posicionamento nas direções X e Y são inferiores a 1,2 μrad. Com base na satisfação das altas precisões de forma e alto desempenho dinâmico, este espelho rápido alcançou miniaturização e modularidade, podendo operar de forma estável e confiável em ambientes aeroespaciais complexos.

关键词

espelho rápido; suporte flexível biaxial; precisão da forma; análise modal

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