A lente de superfícies ultra-finas de fase geométrica difere da lente refrativa tradicional, pois a modulação do frente de onda de fase não depende da fase acumulada durante a propagação, mas altera o estado local de polarização através da estrutura unitária espacialmente variável, introduzindo uma fase adicional conjugada que focaliza o feixe de luz. Para realizar a fabricação interferométrica da estrutura de lente ultrafina de fase geométrica com parâmetros variáveis, foi proposto um sistema óptico de transformação de Fourier modulando um elemento de fase com parâmetros espaciais variáveis. Utilizando o princípio da transformação de Fourier no caminho óptico 4<f>f</f> e as características de propagação geométrica dos feixes de difração do elemento de fase, analisou-se o impacto da frequência espacial, orientação e área de distribuição do elemento de fase nas características do campo luminoso da superfície de imagem do sistema, esclarecendo a modulação segmentada da luz incidente pelo elemento de fase com parâmetros espaciais variáveis, gerando simultaneamente múltiplos campos de luz interferente para realizar métodos de fabricação de microestruturas com orientação e período variáveis. Com base nisso, utilizando o elemento de fase com parâmetros variáveis projetado e fabricado, geraram-se campos de interferência de parâmetros variáveis em distribuição circular e anelar, fabricando-se estruturas de microrrede com orientação e período variáveis, raio de 1892 μm, orientações de 0°, 125°, 235° e períodos de 7,22, 6,51, 5,78 μm, respectivamente. O sistema óptico é simples, fácil de integrar com exposição por projeção, proporcionando uma nova abordagem para a fabricação de lentes ultrafinas de fase geométrica baseadas em unidades estruturais com parâmetros espaciais variáveis.

litografia por interferência; sistema óptico 4<f>f</f>; parâmetros espaciais variáveis; modulação de fase