A técnica de medição por interferência óptica, beneficiando-se de alta sensibilidade e alta repetibilidade, é comumente utilizada para medições de alta precisão de grandezas geométricas, como deslocamento. Para realizar a medição precisa de deslocamentos em nível nanométrico, com base no modelo de interferência entre luz vórtice e onda plana, foi estabelecida e verificada a relação linear entre o ângulo de rotação do padrão de interferência em forma de pétalas e o deslocamento, propondo um método de medição de microdeslocamento. O modelo de medição de deslocamento utiliza o caminho de interferência do feixe de luz vórtice; a viabilidade do princípio foi verificada por simulação e um sistema experimental de deslocamento foi montado para realizar experimentos de medição. Os resultados experimentais indicam que, quando o deslocamento é de 200,0 nm, o resultado medido foi de 196,3 nm, com erro de 3,7 nm e porcentagem de erro de 1,9%, possibilitando a medição de microdeslocamentos em nível nanométrico. Em comparação com os métodos tradicionais de medição de deslocamento, como interferência de onda esférica e interferência conjugada de luz vórtice, este método de medição de microdeslocamento apresenta vantagens claras em confiabilidade e precisão de medição.

medição por interferência;luz vórtice;microdeslocamento;onda plana