A litografia sem máscara baseada em moduladores espaciais de luz é uma das direções importantes no desenvolvimento da tecnologia de litografia. Nos últimos anos, com a melhoria da integração e desempenho do chip dos dispositivos digitais de micromirror, a litografia digital sem máscara tornou-se uma das principais tecnologias digitais de litografia. Como a "máscara digital" refletora e modulável em nível de cinza substitui a tradicional placa de máscara fotográfica física pré-fabricada usada na litografia convencional, esta tecnologia simplifica muito o processo de fabricação de máscaras, melhora a flexibilidade da litografia e é amplamente aplicada em dispositivos planos micro-nano, metamateriais, dispositivos microfluídicos, pesquisa biológica de tecidos e outras áreas. Partindo do princípio da litografia digital sem máscara, é feita uma breve introdução à estrutura típica do sistema de iluminação uniforme e ao sistema de projeção miniaturizado, e em seguida são apresentados os avanços nas tecnologias para aprimorar a resolução espacial na litografia plana, na litografia em tons de cinza e na litografia microestereográfica 3D. Finalmente, são listadas várias aplicações típicas da litografia digital sem máscara e são previstas suas direções de desenvolvimento.

Litografia sem máscara;modulador espacial de luz;dispositivos digitais de micromirror;melhoria da resolução;litografia em tons de cinza;microestereolitografia