Experimento de grande profundidade de corte do diamante CVD com laser de alta frequência

WANG Ji ,  

ZHANG Peng ,  

ZHANG Tianrun ,  

CAO Xiaowen ,  

ZHANG Wenwu ,  

摘要

Para aumentar a profundidade de corte do diamante por deposição química a vapor (Chemical Vapor Deposition, CVD), foi utilizado um novo laser de modulação acusto-óptica com alta frequência de repetição. Estudaram-se os efeitos da potência do laser, posição do foco, frequência de repetição, velocidade da linha de corte e modo transversal do laser na largura da fissura de corte, profundidade e rugosidade da superfície do diamante CVD. Os resultados mostraram que: a profundidade de corte e a largura da superfície superior da fissura aumentam com o aumento da potência do laser; a posição do foco desce com a variação da profundidade de corte para obter a profundidade máxima; o aumento da frequência de repetição acompanha uma diminuição da profundidade de corte e aumento da largura da superfície superior da fissura; a rugosidade da superfície diminui lentamente com o aumento da velocidade da linha de corte e depois aumenta significativamente; a largura da superfície superior da fissura aumenta com o aumento do número de modos. Ao combinar profundidade de corte, largura da fissura e eficiência, finalmente, com modo transversal base de saída, potência do laser de 12 W, frequência de repetição de 6 kHz, velocidade da linha de corte de 1500 mm/min e posição do foco sempre localizada na concavidade de corte, obteve-se o resultado mais rápido e de melhor qualidade, ou seja, profundidade unidirecional máxima de até 7,2 mm, rugosidade da superfície do corte de 0,804 µm e largura da superfície superior da fissura de 350 µm, atendendo aos requisitos para obter grande profundidade de corte em diamante CVD com baixa rugosidade superficial.

关键词

corte a laser; diamante por deposição química a vapor; laser de alta frequência; largura da fissura; profundidade de corte; rugosidade da superfície

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