Atendendo às demandas de aplicação para medição de posição ultraprecisa da mesa dupla de máquinas de litografia por imersão, foi proposto um sistema de medição de deslocamento de codificador de rede plana Littrow heteródina espacialmente separada e ultrapreciso. Foram apresentados os princípios e o projeto do sistema de medição, o projeto e fabricação dos componentes do sistema, a dedução do princípio de medição do codificador e a verificação experimental. A taxa de subdivisão do cartão de fase do sistema de medição de deslocamento do codificador de rede plana projetado é 4096, a resolução de medição é x50 pm / z25 pm. Os resultados experimentais mostram que este sistema de medição de deslocamento do codificador de rede plana pode realizar a medição simultânea do deslocamento nas direções x e z, o percurso de movimento na direção z é ±1 mm, atendendo aos requisitos de foco vertical da mesa dupla da máquina de litografia; quando o ângulo limite de rotação eixo único ou rotação combinada de três eixos R_x/R_y/R_z é ±1,5 mrad, a qualidade do sinal de corrente alternada ainda atende aos requisitos de medição, a rotação de nivelamento da mesa dupla R_x/R_y/R_z atende aos requisitos. O sistema de medição de deslocamento do codificador de rede plana projetado pode realizar as funções de medição correspondentes da mesa dupla da máquina de litografia com altos indicadores de desempenho.

máquina de litografia por imersão;medição de deslocamento;codificador de rede plana;separação espacial;heteródino;ângulo de Littrow