Estudo do sensor absoluto de deslocamento linear temporal baseado em estrutura de polos diferenciais e análise das características de erro de medição

CHEN Ziran ,  

LI Xi ,  

FENG Xijie ,  

CHEN Hongyou ,  

ZHANG Hengxiao ,  

YU Haiyou ,  

摘要

Para enfrentar os desafios do codificação complexa e do rigoroso processamento de fotolitografia dos sensores absolutos tradicionais de deslocamento, foi proposta um novo método de medição absoluta de deslocamento baseado em estrutura diferencial de polos com "posicionamento preciso + medição precisa". O sensor é composto por duas colunas de bobinas de excitação com diferença de um par de polos, cada coluna formada por bobinas senoidais/cosinuidais dispostas ortogonalmente no espaço. Ao aplicar corrente de excitação ortogonal, utilizando uma bobina de indução senoidal na régua móvel, captura-se um campo magnético variável no tempo, obtendo-se dois sinais de onda progressiva. Através do desacoplamento dos sinais, a medição absoluta de deslocamento é realizada por meio de uma combinação de posicionamento preciso e medição precisa. Foi realizada análise do impacto da altura de instalação e dos erros de montagem na precisão da medição. Os resultados experimentais mostram que o ângulo de instalação provoca aumento significativo no nível de corrente contínua interna aos polos e no erro da segunda harmônica; após correção, o sensor apresenta precisão de ±1,2 µm em um alcance de 90 mm e resolução de 0,1 µm.

关键词

Medição absoluta de deslocamento; sensor temporal; estrutura de polos diferenciais; análise de erro de medição

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