Para melhorar a precisão e a consistência do processamento do arranjo de microlentes por torneamento diamantado de ponto único, foi proposto um modelo teórico de erros de processamento, e realizada análise teórica e pesquisa experimental dos métodos de compensação. O processamento do arranjo de microlentes foi equivalente ao processamento de superfícies livres. Ao estabelecer o modelo de corte servo lento de diamante de ponto único, foi calculado o raio de curvatura teórico da superfície em cada ponto de corte ao longo da direção de corte; combinando-se o modelo de ângulo de inclinação equivalente da ferramenta e o modelo de atraso no processamento da máquina, obteve-se o valor previsto teórico da forma de erro da superfície do arranjo de microlentes cortado por servo de movimento lento. Então, utilizando equipamentos de medição in situ, mediu-se o erro real do processamento, comparando o valor teórico do erro de forma com as medidas reais de erro de processamento, e compensando previamente o valor teórico do erro de forma no programa de processamento. Os resultados experimentais mostraram consistência entre o valor teórico do erro de forma e as medidas reais do erro de processamento, com um desvio na faixa [-0.7 μm, 0.3 μm]; após a compensação, o valor PV do arranjo de microlentes caiu de 5.4 μm para 0.6 μm. O método proposto de torneamento diamantado de ponto único e compensação para o arranjo de microlentes pode prever a forma do erro, melhorando significativamente a precisão e a consistência da forma.

usinado ultrapreciso; arranjo de microlentes; torneamento diamantado de ponto único; servo lento; medição in situ; compensação do usinamento