Para melhorar a eficiência e a precisão do processamento da máquina de litografia interferométrica de varredura, ampliar o alcance do processamento e reduzir os custos de manutenção, foi proposta uma solução de sistema para uma máquina de litografia interferométrica de varredura que permite ajuste síncrono em tempo real do período, direção e fase das franjas de interferência, com foco no projeto do sistema chave de bloqueio de fase das franjas interferométricas de intensidade luminosa constante. Primeiro, apresentou-se o princípio do sistema da máquina de litografia interferométrica de varredura com ajuste síncrono em tempo real do período, direção e fase das franjas de interferência, e foi projetado e implementado um sistema de controle de bloqueio de fase das franjas de interferência com modulação por deslocamento de frequência acusto-óptica de heteródino e intensidade luminosa constante. Em seguida, analisou-se o modelo teórico do sistema de controle, a identificação do modelo real do sistema e o ajuste linear de alta ordem, além do projeto do controlador do sistema. Por fim, baseando-se nesse controlador, foram realizados o ajuste e o controle de bloqueio das franjas. Os resultados experimentais mostram que, ao ativar o controle de bloqueio das franjas, os componentes de perturbação de baixa frequência abaixo de 100 Hz foram significativamente suprimidos, o erro residual do bloqueio de fase do padrão interferométrico foi de 0,0693 rad (3σ), ou seja, a variação da fase foi inferior a ±0,01 períodos das franjas de interferência; mesmo quando o erro de controle do desvio do feixe atingiu 100 μm, o desempenho do bloqueio das franjas permaneceu estável. O sistema não só alcança bloqueio de alta precisão das franjas de interferência sob diferentes posturas de interferência, mas também possui uma grande margem de erro no controle do feixe, atendendo às necessidades da máquina de litografia interferométrica de varredura com controle síncrono em tempo real do período, direção e fase das franjas de interferência.

litografia interferométrica de varredura; bloqueio de franjas; interferômetro de medição de fase heteródino