Para estudar as aplicações da tecnologia micro/nano nos campos da ótica, usinagem de precisão e posicionamento exato, foi proposta uma plataforma micro piezoelétrica composta de movimento linear e oscilatório para realizar movimentos lineares e oscilatórios. São descritos a composição e o princípio de funcionamento da plataforma, estabelecem-se dois modelos matemáticos dos movimentos e realiza-se a simulação do desempenho do movimento. De acordo com as dimensões propostas, foi fabricado um protótipo e testadas as capacidades de movimento e as características de resposta em frequência do protótipo. Finalmente, foi implementado um controle de rastreamento da plataforma através do feedback proporcional integral derivativo (PID). Os resultados da simulação e do experimento mostram que a plataforma possui boa precisão de movimento e desacoplamento, a frequência natural de primeira ordem pode atingir 333,8 Hz, realizando um movimento linear de 24,924 μm e um movimento angular de 1,330 mrad, alcançando movimento em escala micro/nano, com amplas perspectivas de aplicação em óptica de precisão e posicionamento exato.

plataforma micro;movimento linear;movimento oscilatório;mecanismo flexível;modelo matemático