Estudo de um sensor acústico de fibra MEMS que combina uma membrana MEMS e uma lente de fibra GRIN ultrapequena, bem como um método de teste de desempenho do sensor acústico de fibra MEMS baseado em um sistema de demodulação SS-OCT (Tomografia de Coerência Óptica por Fonte Varredura). Com base em modelagem e análise, foi projetado e estudado o processo de fabricação do sensor acústico de fibra MEMS que combina uma membrana MEMS e uma lente de fibra GRIN ultrapequena, foi construído um sistema de medição de vibração acústica baseado no SS-OCT, e experimentos de medição de sinais acústicos de frequência única, sinais acústicos de mistura, resposta em frequência, sensibilidade à pressão sonora e estabilidade do sistema foram realizados para teste e calibração do desempenho do sensor. Os resultados mostram que a faixa de resposta em frequência da amostra do sensor acústico de fibra MEMS estudado é de 50 Hz a 4,5 kHz, com sensibilidade à pressão sonora do sensor de 21,63 nm/Pa em 300 Hz, relação sinal-ruído (SNR) de 44,1 dB, linearidade de 98,97% e desvio padrão de repetibilidade de 0,003. Os resultados indicam que o sensor acústico de fibra MEMS estudado é viável e que o sistema de demodulação SS-OCT pode medir de forma eficaz seu desempenho acústico.

lente de fibra GRIN ultrapequena;MEMS;sensor acústico de fibra;SS-OCT