Para as microdeformações das peças de vidro causadas por problemas de posicionamento durante a gravação a laser das linhas na superfície do vidro ITO, foi utilizado um fluxo de ar microperfurado através de cerâmica microporosa para aplicar uma pressão em matriz na peça, garantindo um processamento de gravação a laser de alta precisão. Foi analisada a distribuição da pressão do fluxo de ar microperfurado sob diferentes processos, e investigado o mecanismo de influência da pressão do fluxo de ar e da folga de gravação na planaridade da superfície gravada do vidro ITO. Os resultados mostram que, após a pressão com fluxo de ar microperfurado, a peça recebe pressão positiva na região do fluxo de gás, e a distribuição da pressão na área de processamento é relativamente uniforme. Assim, sabe-se que a pressão de ar uniformemente distribuída na superfície da peça é benéfica para o posicionamento da superfície gravada, mas pressão excessiva pode causar microdeformações na peça. Os resultados experimentais indicam que, sob pressão adequada, a pressão por fluxo de ar microperfurado pode reduzir a planaridade para até 8 μm. Quando a pressão está entre 0,16 e 0,2 kPa, e a folga de gravação entre 1,8 e 1,9 mm, a pressão na superfície da peça é de 13,2 a 14,4 Pa, atingindo a melhor planaridade, linhas de gravação em escala micrométrica claras e sem danos. Finalmente, a gravação a laser do vidro ITO com pressão de fluxo de ar microperfurado pode obter linhas superficiais finas de 8 μm e 25 μm, resolvendo problemas comuns de quebra local ou linhas deformadas que causam curto-circuito ou circuito aberto no produto sem a pressão do fluxo de ar microperfurado.

gravação a laser;fluxo de ar microperfurado;vidro ITO;processo de gravação;usinação de alta precisão