Substratos cerâmicos são materiais base importantes para componentes semicondutores, e a detecção de defeitos é fundamental para garantir a qualidade do produto. Foi proposto um método automático de detecção de defeitos em substratos cerâmicos baseado na rede YOLOV4 aprimorada. Devido ao pequeno tamanho dos defeitos, à variedade de cores e formas, bem como às grandes variações de tamanho entre diferentes categorias de defeitos, o que dificulta a detecção, a rede YOLOV4 aprimorada otimiza o design das caixas iniciais, inspirando-se na ideia de Complete Intersection over Union (CIoU), introduz uma função de perda de confiança baseada no mecanismo de coordenação de gradiente e uma rede de atenção cruzada para melhorar a capacidade de detecção de defeitos. Os resultados experimentais mostram que o método de detecção de defeitos em substratos cerâmicos baseado no YOLOV4 aprimorado alcança uma precisão média de 98,3% para cinco tipos de defeitos: contaminação, corpos estranhos, múltiplos metais, falta de cerâmica e danos, atendendo aos requisitos de precisão para detecção de defeitos em ambientes industriais.

Substratos cerâmicos;Detecção de objetos;YOLOV4;Mecanismo de coordenação de gradiente;Rede de atenção cruzada