Para alcançar o processamento eficiente, de alta precisão e com baixo dano da superfície de microestruturas ópticas infravermelhas, foi proposto um método de corte adaptativo ultra preciso com faca voadora, e este foi verificado experimentalmente. Com base nas características cinemáticas do corte com faca voadora, foi estabelecido um modelo de processamento plástico para corte com faca voadora. Seguindo o princípio de que a espessura máxima do cavaco deve ser sempre menor que o crítico da transição frágil-plástica, e considerando as características morfológicas locais da superfície da microestrutura, foi utilizado um algoritmo iterativo para planejar a trajetória da ferramenta com velocidade de avanço dinâmica. Por fim, foi realizado um experimento comparativo entre o método proposto e o método tradicional de corte com faca voadora, comprovando a eficácia do método adaptativo proposto. Por meio de experimentos, foi possível usinar micro-ranhuras no material de silício monocristalino sem fratura frágil, alcançando uma rugosidade de superfície de 18 nm. Em comparação com o método tradicional, o método de corte adaptativo ultra preciso evita a fratura frágil sem reduzir a velocidade de avanço e a eficiência de processamento é 2,5 vezes maior.

Materiais ópticos infravermelhos; corte ultra preciso com faca voadora; microestruturas; regulação adaptativa de velocidade; eficiência de processamento