Medição da espessura da lente de índice de refração gradual radial sob excentricidade pelo método confocal espectral

LI Chunyan ,  

LI Gengpeng ,  

LIU Jihong ,  

LUO Dou ,  

LIU Jiayi ,  

摘要

Para realizar a medição precisa da espessura da lente de índice de refração gradual radial (GRIN), foi estudado o erro de medição da espessura da lente GRIN radial causado pela excentricidade. Foi apresentado o princípio de funcionamento do sistema de medição de espessura confocal espectral, utilizando a equação da trajetória do raio da lente GRIN radial, combinada com a função de Lagrange óptica e as equações diferenciais do arco do raio para estabelecer um modelo de medição da espessura da lente GRIN radial no sistema de coordenadas cartesianas. Em seguida, foi realizado um estudo teórico e análise de simulação do deslocamento do pico da curva espectral causado pela excentricidade da lente GRIN radial, o que causou erros na medição da espessura. Foi montada uma plataforma experimental e utilizado um estágio de deslocamento de precisão para conduzir a lente GRIN e simular a excentricidade, completando a medição da espessura sob a influência da excentricidade. Os resultados experimentais mostraram que quanto maior o grau de excentricidade da lente GRIN radial, maior o erro de medição; a influência da posição de medição axial é desprezível, confirmando a análise teórica; para uma lente GRIN com espessura real de 4,0126 mm, o erro de medição corrigido da excentricidade foi de 4,6 μm, verificando que o método confocal espectral pode realizar a medição precisa da espessura da lente GRIN radial.

关键词

método confocal espectral;medição de espessura;lente de índice de refração gradual radial;excentricidade;deslocamento do pico

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