Processamento a laser de femtossegundo e teste de desempenho da placa de fase cúbica contínua de enfoque profundo longo

LI Pengju ,  

PAN Deng ,  

LIU Shunli ,  

摘要

Dispositivos tradicionais para gerar feixes de enfoque profundo longo, como moduladores espaciais de luz e combinações de lentes positivas e negativas, apresentam problemas como tamanhos grandes dos componentes ópticos e dificuldade de integração com sistemas micro e nano ópticos. Portanto, é especialmente importante desenvolver um método para gerar feixes de enfoque profundo longo e fabricar um dispositivo com estrutura simples, tamanho compacto e boa qualidade de imagem. Foi proposto um método que utiliza uma placa de fase cúbica contínua modulada para gerar um feixe de enfoque profundo longo. Através da técnica de gravação direta com laser de femtossegundo, foi fabricada uma placa de fase de alta precisão dimensional (diâmetro de 108 μm, altura de 1,1 μm), alcançando um comprimento focal ajustável (50~150 μm) e profundidade de foco (100~600 μm). Foi realizado um teste óptico da placa de fase, demonstrando sua capacidade de foco longo e capacidade de imagem. Este dispositivo pode ser usado em sistemas ópticos integrados de alto desempenho, fabricação micro e nano óptica e outras áreas.

关键词

Processamento a laser de femtossegundo; feixe de enfoque profundo longo; placa de fase; simulação óptica; teste óptico

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