Para realizar a detecção sem contato das formas de onda dos sinais elétricos dentro de circuitos integrados, foi projetado um caminho óptico de detecção baseado em um interferômetro coaxial, utilizando a técnica de amplificação de fase, que possui forte capacidade de supressão de ruído e alta sensibilidade. Propôs-se um método de processamento de sinal baseado na amplificação de fase para extrair os fracos sinais eletro-ópticos transportados na luz refletida. Esse método aproveita a característica de que a intensidade do sinal eletro-óptico do dispositivo varia periodicamente com o sinal elétrico do dispositivo. Primeiro, o sinal elétrico proveniente do fotodetector é processado pela amplificação de fase para eliminar a maior parte do ruído, e depois uma técnica de processamento por média é utilizada para suprimir ainda mais as interferências de ruído externo, melhorando a relação sinal-ruído do sinal eletro-óptico do dispositivo. Isso permite extrair o sinal eletro-óptico que estava imerso no ruído e reconstruir a informação elétrica interna do dispositivo. Com esse método de detecção, foi possível detectar com sucesso sinais eletro-ópticos nos nós de circuitos dentro do chip com corrente de operação dinâmica na ordem de μA, com relação sinal-ruído atingindo 4,99 dB, enquanto que a relação sinal-ruído obtida utilizando apenas a técnica de processamento por média foi menor que -44,29 dB. A pesquisa fornece uma nova ideia para a detecção óptica dos sinais elétricos internos dos circuitos integrados, que poderá ser aplicada no futuro na área de detecção dinâmica de defeitos em circuitos integrados.

circuito integrado;amplificação de fase;sonda eletro-óptica;sinal eletro-óptico