O desenvolvimento de elementos ópticos de filmes finos de alto desempenho para ultravioleta extremo e ultravioleta de vácuo tem grande importância para astronomia, materiais, física e outras disciplinas. Este artigo apresenta principalmente os avanços mais recentes do Instituto de Pesquisa em Tecnologia de Engenharia Óptica de Precisão da Universidade Tongji em elementos ópticos de filmes finos de alto desempenho para ultravioleta extremo e ultravioleta de vácuo. Foram apresentados os resultados da pesquisa sobre espelhos de filmes finos, monocromadores de filmes finos e polarizadores de filmes finos na faixa de ultravioleta extremo - ultravioleta de vácuo (10~200 nm). Para atender a diferentes necessidades e ambientes de uso, foi realizada uma caracterização abrangente da microestrutura interna dos filmes e de seus mecanismos físico-químicos, formando um sistema completo de caracterização, otimização e tecnologia de fabricação de elementos ópticos de filmes finos para ultravioleta extremo e ultravioleta de vácuo, melhorando efetivamente a uniformidade, eficiência de reflexão, largura de banda, estabilidade e grau de polarização dos elementos de filmes principais. A tecnologia de desenvolvimento de elementos ópticos de filmes finos de alto desempenho para ultravioleta extremo e ultravioleta de vácuo fornecerá um forte suporte para grandes instalações científicas terrestres e equipamentos de observação astronômica espacial da China.

ultravioleta extremo - ultravioleta de vácuo; elementos de filme fino; uniformidade; banda estreita; estabilidade; alta eficiência de reflexão