Para alerta de clima espacial, é necessário monitorar os processos físico-espaciais entre o Sol e a Terra. O filtro de ultravioleta extremo (Extreme Ultraviolet, EUV) é uma parte importante do instrumento de imagem EUV, utilizado para remover a radiação fora da faixa operacional no espectro de radiação solar. Para otimizar a transmitância do filtro EUV no comprimento de onda de 17,1 nm, este artigo determina, com base na lei de Beer-Lambert por meio de cálculos teóricos e simulação por software, o material e a espessura do filtro EUV de 17,1 nm. Primeiramente, utilizando evaporação térmica a vácuo, foram depositadas camadas de liberação e filmes metálicos em substrato de quartzo fundido, conseguindo fabricar com sucesso um filtro EUV suportado por malha de níquel. Os testes mostraram que a transmitância do filtro a 17,1 nm é aproximadamente 43,81%, a superfície é lisa, plana e sem furos aparentes. Em seguida, para demonstrar o efeito da camada oxidada sobre a transmitância, a amostra do filtro foi medida com um espectrômetro de polarização elíptica, obtendo a espessura da camada oxidada em diferentes tempos de exposição e medindo a rugosidade para otimizar a simulação da transmitância do filtro. Utilizando o IMD foram ajustadas a espessura e a rugosidade da camada oxidada da amostra para alcançar uma curva mais próxima possível dos valores medidos. Os resultados experimentais mostram que o erro absoluto entre os valores simulados e medidos da transmitância é de aproximadamente 1%, considerado satisfatório. Este artigo fornece um método de fabricação e uma abordagem de otimização para o filtro EUV de 17,1 nm, com importante valor aplicável no campo da exploração espacial.

filme metálico;filtro;suporte de malha;ultravioleta extremo;camada oxidada