Pesquisa e desenvolvimento da tecnologia de transferência em massa Mini/Micro LED

WANG Wei ,  

ZHAO Tiantian ,  

LIU Qiang ,  

HAN Bangcheng ,  

NIU Pingjuan ,  

SANG Jian ,  

摘要

O estado da pesquisa sobre esquemas de transferência em massa (Mass Transfer, MT) e plataformas de posicionamento de movimento (Motion Positioning Platform, MPP), bem como seu desenvolvimento futuro, foi detalhadamente apresentado. De acordo com o método de transferência de chips, os esquemas MT são divididos em tecnologia de captura-liberação precisa, tecnologia de auto-montagem, tecnologia de transferência por rolo e tecnologia de remoção a laser. Combinando eficiência de transferência e rendimento, o desenvolvimento dos esquemas MT nacionais e internacionais foi discutido. Com base nisso, estruturas e princípios de funcionamento de MPP foram apresentados detalhadamente segundo o tipo de suporte da plataforma, incluindo configurações mecânicas, de flutuação a ar, de levitação magnética e configurações híbridas. Considerando o percurso do movimento e a precisão do posicionamento, o desempenho do MPP foi comparado. Foram previstas as direções de desenvolvimento futuro para esquemas MT e tecnologias MPP, destacando que a remoção a laser MT baseada em um meio bifásico microporoso líquido-gás e a configuração híbrida "mecânica + levitação magnética" com correção de pequeno ângulo circumferencial e ajuste micro de altura axial são os focos principais da pesquisa em tecnologia de transferência de chips Mini/Micro LED.

关键词

Mini/Micro LED;transferência em massa;plataforma de posicionamento de movimento;tecnologia de exibição;rendimento de transferência

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