Para melhorar a precisão da medição do raio de curvatura de uma lente esférica, propõe-se um método de medição de alta precisão do raio de curvatura confocal diferencial baseado no monitoramento e ajuste de pose em cinco dimensões. Ao girar a amostra medida, monitora-se a trajetória do ponto focal confocal da peça medida no detector, mede-se o erro excêntrico entre o centro esférico da peça e o eixo óptico de medição e, em conjunto com o sistema de ajuste de pose, faz-se a compensação automática do erro excêntrico, garantindo que o centro da esfera coincida com o eixo óptico durante a medição. Isso elimina o erro cosseno introduzido pelo deslocamento do centro da esfera da amostra, e elimina o impacto dos erros de pose da amostra durante cada montagem na precisão da medição. Cálculos teóricos e experimentos preliminares mostram que esse método pode alcançar uma precisão relativa de repetição da medição do raio de curvatura (RMS) de 3,2×10^{-6}. O método melhora significativamente a precisão da repetição da medição do raio de curvatura, fornecendo um meio eficaz para a medição precisa do raio de curvatura. Ao mesmo tempo, o método também oferece um meio eficaz para a medição de alta precisão de vários parâmetros, como deslocamento do centro da lente, distância focal, espessura e espaçamento entre grupos de lentes.

raio de curvatura;laser confocal diferencial;monitoramento de pose em cinco dimensões;ajuste de pose em cinco dimensões;erro cosseno