Influência do aliasing na precisão da medição do interferômetro dinâmico heterodino de campo total

YANG Yuqi ,  

LI Yang ,  

LÜ Tong ,  

ZHANG Wenxi ,  

WU Zhou ,  

摘要

O interferômetro dinâmico heterodino de campo total possui vantagens como alta precisão de medição e forte resistência a interferências, sendo adequado para a medição interferométrica dinâmica de formas de superfície de longa distância focal e para a medição de componentes ópticos de grande diâmetro. No entanto, o desempenho insatisfatório dos componentes ópticos internos do sistema interferométrico e erros no montagem dos componentes podem introduzir aliasing de frequência no caminho óptico de interferência, afetando a precisão da medição do interferômetro. Para analisar o efeito do aliasing na precisão da medição do interferômetro dinâmico heterodino de campo total, foi estabelecido um modelo teórico do erro de medição introduzido pelo aliasing com base nas causas de sua ocorrência, e analisou-se a influência do grau de aliasing na precisão da medição. A análise mostrou que o erro de medição está positivamente correlacionado de forma não linear com o grau de aliasing, e que o aliasing ocasiona um erro periódico superposto ao resultado da medição da forma da superfície com a mesma frequência das franjas de interferência. Foi montado um sistema experimental de medição interferométrica dinâmica heterodina de campo total para verificar a influência de diferentes graus de aliasing na precisão da medição da forma da superfície. Quando o grau de aliasing foi 0,029, o erro de medição da forma da superfície foi 0,053λ; quando o grau foi 0,120, o erro foi 0,110λ, coincidente com os resultados da análise por simulação. Este estudo tem significado prático para o desenvolvimento de interferômetros heterodinos dinâmicos de campo total de alta precisão.

关键词

medição interferométrica;campo total heterodino;aliasing;erro de medição

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