O sistema de estabilização da direção do feixe baseia-se no controle da posição e do ângulo do feixe, possibilitando um controle ativo de alta precisão da direção do feixe, desempenhando um papel importante em áreas como a microe nanoimpressão óptica e a imagem de super-resolução. Para alcançar uma estabilização prolongada da direção do feixe, foi proposto um sistema de estabilização de direção do feixe miniaturizado com controle separado, que elimina erros de acoplamento causados pela correção com espelhos duplos em soluções tradicionais, melhorando significativamente o desempenho do controle da precisão da direção do feixe. Resultados de testes comparativos mostram que o sistema de estabilização de direção do feixe baseado neste método alcança uma precisão de estabilidade da posição do feixe (valor RMS) de 0,3 μm, e uma precisão de estabilidade angular (valor RMS) de 1 μrad; os resultados dos testes após a aplicação de uma perturbação ativa de certa magnitude mostram que o sistema pode manter a mesma ordem de precisão de estabilidade mesmo sob grandes oscilações da fonte luminosa. Em comparação com dois sistemas comerciais de estabilização de direção do feixe testados sob as mesmas condições, seu desempenho na oscilação de posição e ângulo pode ser melhorado em mais de 50%.

Estabilização do feixe; correção de alta precisão; detecção angular de alta precisão; tecnologia de separação de erros