Em relação ao problema da compensação do acoplamento periódico entre os eixos da plataforma nano piezoelétrica com atraso de medição, especialmente em aplicações de varredura rápida de grade, é proposta uma estratégia robusta de controle de observação de interferência periódica que não requer a resolução de modelos inversos complexos. Foi estabelecido um modelo eletromecânico multi-perturbação da plataforma piezoelétrica para descrever o comportamento dinâmico do sistema da plataforma. Com base nisso, construiu-se uma estrutura de controle de observação de interferência periódica. Por meio da função de otimização de desempenho derivada e das condições de estabilidade robusta, o problema de solução dos parâmetros do controlador ótimo foi transformado em um problema de otimização de sensibilidade mista para sistemas com atraso e resolvido pelo método de controle H^∞ de dimensão infinita. Finalmente, foram realizados experimentos abrangentes na plataforma nano piezoelétrica. Os resultados mostram que o modelo dinâmico estabelecido pode ajustar eficazmente a resposta experimental da plataforma; em comparação com o método sem observador de interferência e o método tradicional de controle de observação de interferência periódica, o método robusto proposto apresenta melhorias no desempenho anti-interferência na frequência fundamental superiores a 99% e 50%, respectivamente. O método robusto proposto de controle de interferência periódica possui excelente desempenho em resistência a interferências e compensação de incertezas.

Plataforma micro piezoelétrica; compensação de acoplamento; modelagem dinâmica; observador de interferência periódica; atraso; otimização H^∞