Considerando que as características de corte dos materiais poliméricos representados pelo fotopolímero determinam a qualidade de processamento das microestruturas da máscara, SU8 foi tomado como objeto de estudo, combinando análise experimental e simulação para estudar as características de corte da máscara de fotopolímero. A relação tensão-deformação do fotopolímero SU8 foi testada por nanoindentação, um modelo de simulação de corte SU8 baseado no método da energia foi estabelecido, em seguida o AdvantEdge FEM simulou o processo de corte do fotopolímero SU8 sob diferentes parâmetros de corte, e finalmente foram realizados experimentos de usinagem ultraprecisa do SU8. Combinando resultados de simulação e experimentais, analisou-se o efeito dos parâmetros de corte e do ângulo do ferro da ferramenta na qualidade da superfície, otimizando os parâmetros de usinagem do fotopolímero SU8. Os resultados mostram que a rugosidade da superfície diminui com o aumento da velocidade de corte, e aumenta com o aumento da velocidade de avanço e da profundidade de corte; quando a velocidade de corte é 2,09 m/s, a velocidade de avanço é 1 mm/min, a profundidade de corte é 2 μm, e o ângulo do ferro da ferramenta é 0°, a rugosidade da superfície Ra da máscara de fotopolímero atinge o ótimo de 7,4 nm, sem microfissuras ou outros defeitos microscópicos. Com base nos resultados da simulação e dos experimentos, os parâmetros de processamento foram otimizados e uma estrutura de matriz de microlentes de alta precisão foi realizada sobre a máscara SU8.

usinagem ultraprecisa; processamento de máscara; simulação de corte; fotopolímero SU8; matriz de microlentes