A mesa de micromovimento é um componente chave para alcançar posicionamento de alta precisão. As mesas tradicionais possuem poucos graus de liberdade e baixa resolução, não atendendo às necessidades das aplicações. Portanto, foi proposta uma estrutura de mesa de micromovimento de alta precisão com seis graus de liberdade, e seu desempenho foi verificado. Na estrutura geral, utiliza-se um método de acionamento híbrido "série-paralelo" e uma estrutura oca, distribuindo de forma racional o movimento dos seis graus de liberdade entre três camadas: camada de translação, camada de rotação e camada de suporte. Foi desenvolvido um sistema de controle de movimento para a mesa e um software de controle de movimento compatível para uso em conjunto. Os resultados experimentais mostram que os deslocamentos lineares nos eixos X, Y e Z são melhores que 20, 20 e 37 μm, respectivamente, e os deslocamentos angulares são melhores que 39″, 33″ e 27″; a resolução do deslocamento linear é melhor que 0,7 nm e a resolução do deslocamento angular é melhor que 0,1″. A mesa de micromovimento proposta com seis graus de liberdade apresenta vantagens, como maior número de graus de liberdade e resolução extremamente alta em comparação com mesas tradicionais, e tem potencial para ampla aplicação em usinagem ultraprecisa e fabricação de microeletrônica.

mesa micromovimento;resolução subnanométrica;seis graus de liberdade;sistema de controle de movimento