Materiais ópticos duros e frágeis, como o vidro de quartzo, inevitavelmente geram microfissuras subsuperficiais durante o processo de fabricação, o que afeta significativamente o desempenho dos componentes ópticos. Portanto, a detecção não destrutiva de microfissuras subsuperficiais no vidro de quartzo é de grande importância para otimizar os processos de fabricação e melhorar a qualidade do processamento. Foi proposta uma metodologia de detecção de microfissuras subsuperficiais no vidro de quartzo baseada na dispersão de laser polarizado (Polarized Laser Scattering, PLS), e um sistema de detecção não destrutiva PLS foi construído. Amostras com microfissuras subsuperficiais de profundidades de 5,27 μm, 9,7 μm e 15,42 μm foram preparadas por experimentos de indentação sob pressões de 20 mN, 50 mN e 100 mN, respectivamente, e detectadas de forma não destrutiva pelo sistema PLS para investigar a relação entre o sinal PLS e a profundidade das microfissuras subsuperficiais. Amostras polidas com partículas abrasivas de diferentes tamanhos (1~20 μm) foram preparadas, contendo microfissuras subsuperficiais com profundidades entre 1~10 μm, sendo descoberta uma relação de função potência entre o sinal PLS e a profundidade das fissuras subsuperficiais. O sistema de detecção PLS construído pode detectar e quantificar efetivamente microfissuras subsuperficiais no vidro de quartzo com profundidade inferior a 10 μm. Os resultados do sistema PLS permitem a detecção de microfissuras em vidro de quartzo polido, proporcionando orientações para o controle de microfissuras subsuperficiais e otimização do processo de fabricação.

dispersão de laser polarizado;microfissuras subsuperficiais;indentação;polimento;vidro de quartzo