O polimento de dupla face é uma etapa importante na preparação de substratos de safira. A profundidade das fissuras na superfície de polimento afetará seriamente a quantidade de material removido durante o polimento subsequente, portanto, o estudo das características das fissuras na superfície do substrato polido e a medição da profundidade têm grande importância. Este artigo utilizou métodos como observação microscópica de seção transversal, observação lateral por feixe de íons focalizados, método de taxa diferencial de ataque químico, polimento magnetoreológico e polimento camada por camada para observar as características das fissuras na superfície do substrato de safira polido em dupla face e medir a profundidade das fissuras. A observação pelos métodos de microscopia de seção transversal e feixe de íons focalizados revelou que a morfologia das fissuras sob a superfície do substrato de safira após o polimento é principalmente em forma de linhas oblíquas, linhas horizontais, ganchos e ramificações. O método de taxa diferencial de ataque químico mediu a espessura da camada densa de fissuras na superfície do substrato polido em cerca de 9~10 μm, enquanto o método de polimento magnetoreológico mediu a profundidade local das fissuras sob a superfície de 25~30 μm, e o método de polimento camada por camada mediu a profundidade total das fissuras sob a superfície em cerca de 30~35 μm. Além disso, com base nas características e profundidades das fissuras detectadas por diferentes métodos, foi construído um modelo de fissuras na superfície do substrato de safira polido em dupla face, fornecendo base para o desenvolvimento e otimização dos processos de polimento subsequentes.

substrato de safira; polimento; fissuras superficiais; detecção de fissuras