Avanços na tecnologia de imageamento espectral baseada em dispositivos de microespelhos digitais

SHI Yingchao ,  

ZHANG Luming ,  

CHEN Fei ,  

YUAN Weizheng ,  

YU Yiting ,  

摘要

Os dispositivos de microespelhos digitais (DMD), como moduladores espaciais de luz flexíveis, programáveis e endereçáveis de forma independente, são amplamente aplicados em litografia sem máscara, modelagem de feixes, imageamento holográfico, medições confocais e outros campos. Na área de imageamento espectral, o DMD consegue modular de forma precisa e controlada o campo de visão da imagem, substituindo as tradicionais máscaras mecânicas e as estruturas mecânicas de varredura. Esta revisão aborda os avanços recentes e as aplicações do DMD no imageamento espectral, detalhando a estrutura básica do sistema óptico e o princípio de funcionamento dos sistemas de imageamento espectral baseados em aberturas codificadas e sistemas de imageamento espectral por varredura; traça o desenvolvimento dos sistemas de imageamento espectral baseados em DMD, desde o imageamento espectral pela transformada de Hadamard até o imageamento espectral por varredura; detalha os trabalhos de pesquisa voltados para superar a difração dos microespelhos do DMD e aberrações, como a inclinação do plano de imagem. Por fim, resume as vantagens únicas da tecnologia de imageamento espectral baseada em DMD e discute as direções futuras de desenvolvimento e perspectivas de aplicação.

关键词

dispositivos de microespelhos digitais; imageamento espectral; aberturas codificadas; transformada de Hadamard; imageamento espectral por varredura

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