Para detectar em tempo real o erro de movimento do módulo linear bidimensional, foi construído um sistema de medição de erro em tempo real. Este sistema é composto por um módulo de medição de erro de movimento de quatro graus de liberdade, um módulo de medição de erro de ângulo de rolamento e uma régua óptica linear, realizando a medição do erro de movimento de seis graus de liberdade em um único eixo. Baseado no princípio da Matriz de Transformação Homogênea (Homogeneous Transformation Matrix, HTM), foi construído um modelo de erro espacial do módulo bidimensional para representar a posição espacial real dos pontos funcionais; completou-se o experimento de calibração do sistema de medição e os dados experimentais foram processados com base no princípio de Abbe-Blein para realizar o experimento comparativo. Finalmente, a precisão da medição do erro de posicionamento, erro de linearidade e erro angular do sistema de medição atingiu ±1,2 μm, ±1,3 μm e ±1″, respectivamente, e o erro de medição da posição da diagonal do plano XZ do módulo linear bidimensional foi analisado com base no modelo de erro espacial. Os resultados mostram que após a resolução usando o modelo de erro espacial do módulo linear bidimensional, o erro de medição da posição da diagonal do plano XZ diminuiu de 68 μm para 13 μm, comprovando a eficácia do uso deste sistema para medir o erro do módulo linear; além disso, como os erros de movimento nas várias posições do módulo linear bidimensional mudam sob carga, para verificar que o sistema de medição pode medir em tempo real as variações do erro espacial do módulo linear, foi instalado um peso padrão de 2 kg no deslizador do eixo Z para um experimento comparativo. Os resultados mostram que após a resolução usando o modelo de erro espacial do módulo linear bidimensional, o erro de medição da posição da diagonal do plano XZ diminuiu de 56 μm para 14 μm.

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