Considerando os problemas de baixa precisão na medição e grande interferência humana no ajuste da postura da lente nos métodos existentes de medição do desvio do centro da lente, propõe-se um método automático de medição do desvio do centro da lente por lente confocal diferencial. Este método utiliza a tecnologia de foco fixo confocal diferencial e baseia-se na característica de que o ponto zero da curva de resposta da intensidade da luz axial confocal diferencial corresponde exatamente ao ponto característico da lente medida, realizando a localização precisa do ponto olho de gato e do ponto confocal da lente medida; através de um eixo rotativo de ar de alta precisão que gira a lente medida, utilizando sensor de deslocamento e grade ótica circular para registrar as informações de posição da lente medida, combinado com um mecanismo automático de ajuste de postura em cinco dimensões, realiza-se a calibração de alta precisão da postura da lente medida, eliminando desvio de postura e melhorando a precisão da medição; finalmente, foi construído um sistema automático de medição do desvio do centro da lente por lente confocal diferencial a laser, realizando a medição automática de alta precisão do desvio do centro da lente. Os resultados experimentais mostram que a precisão da medição do desvio do centro da lente pode atingir 0,41%, com repetibilidade de medição melhor que 100 nm. Comparado com a medição manual única existente, este método apresenta melhor repetibilidade, menor erro aleatório e alta precisão de medição, fornecendo uma solução técnica para a medição automática de alta precisão do desvio do centro da lente.

medição a laser;confocal diferencial;desvio do centro;ajuste automático;medição automática;desvio de postura