Análise do erro de controle da espessura de filmes antirreflexo na faixa visível e otimização de desempenho

FU Xiuhua ,  

WEI Yujun ,  

LIN Zhaowen ,  

PAN Yonggang ,  

LI Gang ,  

FU Guangyuan ,  

摘要

Para melhorar a qualidade da imagem das lentes ópticas e eliminar o impacto da luz espalhada, foi projetado um revestimento antirreflexo com vidro K9 como base, apresentando refletância média inferior a 0,1% na faixa de luz visível. Utilizou-se o método de deposição assistida por feixe de elétrons e íons. Devido à alta sensibilidade das camadas finas e às grandes variações espectrais, foi estabelecido um modelo matemático estável para controlar a espessura do filme, reduzindo o erro de espessura e aumentando a precisão e estabilidade da deposição. Foram realizados testes rotativos no revestimento antirreflexo, otimizando os parâmetros do processo, com ênfase no aumento da dureza e resistência à fervura. Os resultados experimentais mostraram que o revestimento final apresentou reflectância média de aproximadamente 0,044% na faixa de 420~680 nm, com refletância máxima de 0,0712%, superando os problemas de desempenho mecânico e estabilidade química dos revestimentos antirreflexo com camada externa de MgF2, atendendo aos requisitos de baixa perda, estabilidade confiável, alta resistência e fabricação repetível para aplicações de engenharia.

关键词

filmes ópticos; deposição por evaporação assistida por feixe de elétrons; controle de erros; propriedades mecânicas; luz visível; refletância

阅读全文

以上内容由讯飞翻译自动生成,翻译内容仅供参考。对于因使用本网站翻译内容产生的相关后果,本网站不承担任何商业和法律责任。

The above content is generated by Large Model Translation. The translated content is for reference only. We do not assume any commercial or legal responsibilty for any consequences arising from the use of our website