O polimento anelar de diâmetro total é uma das tecnologias chave para o processamento de elementos ópticos planos de grande diâmetro, sendo o principal gargalo o controle eficiente e de alta precisão da forma do elemento. Através do estudo dos fatores que influenciam a forma da superfície e seus métodos de controle, busco elevar o nível de controle determinístico. Focando nos principais fatores do processo que afetam o erro de forma, como a velocidade de movimento, o erro na forma da superfície do disco de polimento e o estado de passivação, foi estabelecido um modelo cinemático de polimento anelar baseado no comprimento efetivo do arco da trajetória, revelando as leis de influência do tipo de ranhura na superfície do disco sobre o erro de forma; propôs-se o uso de sensores de deslocamento para escanear a superfície do disco de polimento seguindo uma trajetória helicoidal e gerar o erro de forma através de algoritmo de interpolação, estabelecendo método de correção subdiâmetro baseado em pequena ferramenta, realizando correção quantitativa in situ do erro de forma do disco; propôs-se método para monitorar o estado de passivação da superfície do disco, e estudou-se a influência desse estado no erro de forma. Os resultados demonstram que: ao usar ranhuras anelares na superfície do disco, a superfície do elemento tende a apresentar características de bandas anelares, enquanto ranhuras radiais, quadradas e helicoidais tornam a superfície mais lisa; através da inspeção e correção quantitativa in situ do erro de forma do disco, pode-se melhorar significativamente a precisão da forma do elemento; com a passivação gradual da superfície do disco, a forma do elemento deteriora-se gradativamente. Em uma máquina de polimento anelar de grande diâmetro com 5 m de diâmetro em desenvolvimento, peças planas de 800 mm×400 mm×100 mm foram processadas com PV de forma melhor que λ/6 (λ=632,8 nm), aumentando a eficiência e a precisão do controle da forma do elemento.

processamento óptico;polimento anelar de diâmetro total;erro de forma;leis de influência;métodos de controle