Os espelhos de multicamadas no ultravioleta extremo têm aplicações importantes em muitos campos científicos e tecnológicos, como litografia ultravioleta extrema, astrofísica, diagnóstico de plasma, física attosegundo e laser de elétrons livres. As multicamadas tornam possível que espelhos na faixa do ultravioleta extremo tenham alta refletância e banda estreita sob condições de incidência normal. Os espelhos multicamadas são dispositivos importantes para aplicações de imagem e espectroscopia no ultravioleta extremo, e sistemas de imagem multicamadas já realizaram várias observações de imagens de linhas espectrais solares singulares com sucesso. Este artigo revisa o progresso na pesquisa das multicamadas mais promissoras na faixa de 40~90 nm. Primeiro, apresenta brevemente os princípios básicos das multicamadas, descreve a medição das constantes ópticas dos materiais na faixa de 40~90 nm, resume o progresso em multicamadas baseadas em magnésio, escândio, lantânideos e outros materiais, apresenta a melhor reflectância e largura de banda alcançadas até o momento e esclarece a estabilidade temporal das multicamadas, oferecendo assim orientações técnicas para a fabricação de multicamadas na faixa de 40~90 nm.

filmes ópticos;ultravioleta extremo;multicamadas;banda estreita;alta refletância