Para resolver o problema da baixa precisão e da lentidão no ajuste manual da postura da peça medida na medição tradicional da forma esférica por interferometria, foi proposta uma metodologia automática rápida e de alta precisão para medição da forma da superfície por interferometria confocal a laser. Este método realiza o posicionamento axial de alta precisão da peça medida por meio da tecnologia de foco confocal preciso; por meio de uma estrutura de ajuste automático em cinco dimensões, ajusta-se a postura da peça, alcançando posicionamento lateral de alta precisão; por ajuste Zernike, realiza-se afinação do objeto medido para reduzir erros de desfocagem e inclinação, possibilitando ajuste de franjas zero na forma de interferência. Por fim, foi realizada a medição automática da forma da superfície por interferometria confocal a laser. Foi construído um sistema de medição da forma por interferometria confocal a laser, e os experimentos demonstraram que o resultado da medição da forma difere em 0,0006 λ em relação ao interferômetro Zygo, com precisão de repetição de até 0,0019 λ e tempo médio de medição de uma única forma interferométrica de 16,5 s, aumentando a eficiência de medição em 1,56 vezes em comparação ao ajuste manual para franjas zero. O método fornece um meio eficaz para medição rápida e precisa da forma de interferência.

Medição confocal a laser; interferência de deslocamento de fase; método confocal; ajuste de postura; ajuste Zernike; medição automática