A aplicação integrada de microlentes e chips detectores pode melhorar a eficiência no aproveitamento da energia luminosa pelo detector, aumentando assim sua sensibilidade. Para dois tipos de detectores infravermelhos de fóton único baseados em InP e InGaAs, foram projetadas duas matrizes de microlentes com aberturas quadradas feitas de arseneto de gálio e silício, respectivamente. Foi apresentado o processo de projeto dos parâmetros estruturais da matriz de microlentes e analisados os pontos-chave de cada etapa do design, utilizando software de rastreamento de raios para simular e verificar os parâmetros do projeto, confirmando que as duas matrizes atendem às exigências do design. Utilizou-se perfilometria e microscopia confocal para inspeção morfológica das duas matrizes produzidas, sendo calculadas discrepâncias de curvatura de 1,38% e 3,44%, respectivamente. Foram testadas experimentalmente as distâncias focais das duas matrizes em ar na comprimento de onda de 1,064 μm, apresentando desvios de distância focal de 5,69% e 2,76% em relação aos resultados simulados. A análise do processo de fabricação das microlentes indicou que as duas discrepâncias atendem aos requisitos de aplicação.

matriz de microlentes;detector óptico;eficiência no aproveitamento da energia luminosa;abertura retangular