Foi proposto um método de compensação de erros para tratar os erros de medição decorrentes da inclinação da superfície do objeto medido em um sistema de medição confocal colorido paralelo não coaxial. O método utiliza um degrau composto por dois blocos padrão como objeto de medição para experimentos. Primeiro, a amostra é movida lateralmente e os dados de altura da superfície coletados são ajustados por uma regressão linear para obter a fórmula linear da superfície inclinada. Em seguida, utiliza-se a relação entre a inclinação da linha da superfície inclinada e o ângulo de inclinação para obter o ângulo de inclinação da superfície e, por meio de relações trigonométricas, calcular o erro de cada ponto de dados. Finalmente, o erro de dados causado pela inclinação da superfície é eliminado por meio de compensação. Para garantir que a câmera colorida capte o sinal espectral refletido, o ângulo de inclinação do objeto medido é ajustado continuamente, configurando o ângulo de inclinação da superfície entre [-4°, 4°]. Experimentos de compensação de erros foram realizados em diferentes ângulos de inclinação dentro desse intervalo. Tomando o ângulo de inclinação de 4° como exemplo, a média da medida da altura do degrau após a compensação foi de 101,92 μm, o erro relativo foi de 3,00% e a precisão de medição do sistema pode alcançar o nível micrométrico.

Medição óptica;Medição confocal colorida;Ângulo de inclinação;Medição de altura;Compensação de erros