Uniformidade de retificação dupla face de titanato de lítio baseada na trajetória tridimensional dos grãos abrasivos

XUE Saisai ,  

GUO Xiaoguang ,  

JIA Yufan ,  

GAO Shang ,  

KANG Renke ,  

摘要

Para melhorar a uniformidade da remoção de material em pastilhas de titanato de lítio (LiTaO3, LT), foi proposto um modelo de uniformidade da remoção de material que considera o microcorte tridimensional dos grãos abrasivos. Com base no mecanismo de remoção frágil/plástica do cristal de titanato de lítio e nas características de distribuição dos grãos abrasivos na superfície do almofadado de polimento, foram calculadas a profundidade de penetração e a área da seção transversal das cavacas de cada grão abrasivo usando a equação do equilíbrio de forças. Através da análise cinemática, foi derivada a equação da trajetória do movimento dos grãos abrasivos na retificação dupla face, estabelecendo-se um modelo de uniformidade da remoção de material que considera o microcorte tridimensional dos grãos abrasivos e estudou-se a influência da razão de velocidade entre o anel dentado e a roda solar m, bem como entre o disco de polimento inferior e a roda solar n sobre a uniformidade da remoção de material. Finalmente, realizou-se um experimento de retificação dupla face de pastilhas de titanato de lítio com abrasivos consolidados, medindo a variação total da espessura das pastilhas sob diferentes razões de velocidade m, n para validar o modelo. Os resultados experimentais mostram que a uniformidade da remoção de material é fortemente influenciada pelas razões de velocidade m e n, sendo ótima quando as razões m e n são 0,85 e 1,3, respectivamente, com uma variação total na espessura da pastilha de 0,83 μm, e os resultados experimentais coincidem com a simulação. O modelo estabelecido possui um significado orientador para melhorar a uniformidade da remoção de material na retificação dupla face de pastilhas de titanato de lítio.

关键词

Retificação com abrasivos consolidados; pastilhas de titanato de lítio; trajetória do movimento dos grãos abrasivos; uniformidade da remoção de material

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