O sulfeto de zinco multiespectral é amplamente utilizado na orientação óptica infravermelha, radares de detecção fotoelétrica e gondolas eletro-ópticas embarcadas devido à sua alta transmitância óptica nas faixas espectrais de infravermelho próximo, médio e distante. Para obter alta precisão de forma superficial dos componentes ópticos de sulfeto de zinco multiespectral e melhorar a eficiência do polimento por feixe de íons, foi utilizado o método de experimento ortogonal para realizar experimentos de gravação pontual com feixe de íons no sulfeto de zinco, obtendo as características da função de remoção e a taxa de remoção volumétrica sob diferentes parâmetros do processo. A análise visual dos dados experimentais ortogonais e a análise de faixa foram utilizadas para otimizar os parâmetros do processo visando maximizar a taxa de remoção volumétrica. A combinação otimizada dos parâmetros do processo foi: tensão do feixe de íons 1100 V, potência de radiofrequência 110 W, tensão de aceleração 200 V, fluxo de argônio 7 sccm e distância de processamento de 30 mm. Através do controle dos parâmetros do processo para obter diferentes diâmetros de ponto do feixe de íons, foi realizado polimento combinado em sulfeto de zinco com diâmetro de 80 mm. O valor PV da precisão da forma do sulfeto de zinco após o processamento diminuiu de 467 nm para 71,506 nm, o valor RMS diminuiu de 112 nm para 10,758 nm. Os resultados experimentais indicam que a combinação de feixes de íons com diâmetros grandes e pequenos pode melhorar efetivamente a eficiência do processamento e a precisão de forma dos componentes ópticos de sulfeto de zinco multiespectrais.

sulfeto de zinco; polimento por feixe de íons; função de remoção; otimização de processo; análise de faixa