Em relação ao problema da difícil eliminação e quantificação da deformação adicional induzida por forças externas durante a detecção da deformação das pastilhas, foi proposta uma solução de fixação automática vertical melhorada para a detecção industrial rápida e de alta precisão da deformação das pastilhas. Essa solução possui vantagens como restrição precisa e processo de fixação simples. Combinando análise teórica e simulação por elementos finitos com métodos de caracterização da deformação das pastilhas, foi proposta uma metodologia de análise para o projeto da fixação das pastilhas, obtendo a relação entre diferentes parâmetros chave de projeto e a deformação adicional das pastilhas, realizando o projeto direto dos parâmetros chave do mecanismo de fixação vertical e, com base nos resultados do projeto, foram realizados experimentos de verificação de fixação repetida. A análise e os resultados experimentais mostram que, garantindo que o ângulo de inclinação da pastilha seja inferior a 0,02°, que o ângulo da superfície inclinada da posição de restrição fixa inferior seja de 35° ± 1°, que a força de fixação não exceda 2 N e que o ângulo entre a força e a direção vertical não ultrapasse 2°, pode-se garantir que a deformação adicional da pastilha de silício monocristalino de 300 mm não exceda 70 nm e que a deformação não ultrapasse 1.000 nm. Essa solução de fixação possui vantagens como restrição precisa e processo de fixação simples, tendo certo significado orientador para o desenvolvimento de instrumentos de medição de morfologia geométrica de alta precisão para pastilhas de 300 mm e para fixação de componentes ópticos de grande porte.

medição de deformação de pastilhas; fixação vertical; deformação adicional; análise por elementos finitos